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Spectrométrie à décharge luminescente (SDL)

par Virginie Moutarlier -


La Spectrométrie à Décharge Luminescente (SDL) ou Glow Discharge Optical Emission Spectroscopy (GDOES) permet une érosion par plasma ionique de surfaces, afin d’obtenir la répartition des éléments dans la profondeur. La SDL possède des atouts majeurs : mise en œuvre simple (vide primaire), préparation des échantillons réduite (s’ils présentent la bonne géométrie), résolution en profondeur satisfaisante (de quelques nm jusqu’à 100 µm) et durée d’analyse courte sur des échantillons conducteurs et isolants.


Équipement

Appareil : GD Profiler HORIBA Jobin Yvon
Acquisition : 2005
Échantillons : échantillons conducteurs ou isolants,
plans sur les deux faces de 2 cm x 2 cm minimum

Éléments détectables : 30 éléments, voir liste :

PDF - 192.5 ko

Monochromateur : permet la détection d’un élément supplémentaire
Acquisition : 2011

Profilomètre Veeco (Bruker) : permet d’observer les cratères d’érosion
Acquisition : 2011


Applications

✔ Analyses SDL qualitatives
✔ Analyses SDL et quantitatives, après étalonnage de la méthode
Exemples d’analyses SDL

Exemples d’applications
* Suivi par SDL du relargage d’inhibiteurs contenus dans des couches de sol-gel :

PDF - 698.5 ko

* Analyses SDL de couches minces formées lors du décapage de l’aluminium :

PDF - 1.6 Mo

* Analyses par SDL de polymère organique sur FTO :

PDF - 1.5 Mo

Contacts

Moutarlier Virginie
téléphone : 03 81 66 20 22
e-mail : virginie.moutarlier chez univ-fcomte.fr

Fiche demande analyses SDL
PDF - 47.8 ko